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    HORIBA質量流量控制器

    LF-F/LV-F 液體微小質量流量計/控制器

    產品分類:HORIBA質量流量控制器

    產品介紹

    概要

    搭載采用了冷卻檢測方式的流量傳感器

    特征

    • 通過采用數字回路,實現了高精度?高速響應。
    • 可以進行微升以上的微小流量控制。
    • 可以進行低沸點液體材料、高粘度液體材料的精密流體控制。
    • 超潔凈類型

    規格

     

    名稱

    質量流量計

    型號

    LF-F20M-A

    LF-F30M-A

    LF-F40M-A

    LF-F50M-A

    LF-F60M-A

    全標度流量(g/min)

    0.02/0.05/0.1

    0.2/0.5

    1/2/5

    10/20

    50/100

    檢測控制范圍

    5?100% F.S.

    對象液體種類 *1

    可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。

    液體粘度 *2

    最大值. 0.1 Pa·s (100cp)

    精度 *3

    ±1% F.S.

    直線性 *3

    ±0.5% F.S.

    重復性 *3

    ±0.5% F.S.

    響應精度

    3秒以內 (T98)

    2秒以內 (T98)

    使用環境溫度 *4

    5?50℃ (15 ? 45℃精度的確保)

    溫度影響 Span

    ±0.1%F.S./℃ 最大值±1%

    工作差壓值值 *5

    最大值. 5MPa (視為流量計) / 50?300kPa (with piezo 控制閥)

    耐壓

    10MPa (視為流量計)

    壓力損失

    最大值. 500Pa

    流量設定信號

    模擬:0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數字式:RS485(F-Net通信協議)

    流量輸出信號

    模擬:0?5 VDC(最小負荷電阻2kΩ) 數字式:RS485(F-Net通信協議)

    驅動電源

    +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA

    外部泄漏規格

    5×10-12Pa·m3/s (He)

    接液部材質

    SUS316L, Ni

    標準接頭

    1/16” , 1/8” SWL類型, 1/8” VCR 類型

    1/8” SWL類型, 1/8” VCR 類型

    1/4” SWL類型 1/4” VCR 類型

    名稱

    質量流量控制器

    型號

    LV-F20 (PO/MO)

    LV-F30 (PO/MO)

    LV-F40 (PO/MO)

    LV-F50 (PO/MO)

    LV-F60 (PO/MO)

    全標度流量(g/min)

    0.02/0.05/0.1

    0.2/0.5

    1/2/5

    10/20

    50/100

    檢測控制范圍

    5?100% F.S.

    對象液體種類 *1

    可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。

    液體粘度 *2

    最大值. 0.01 Pa·s (10cp)

    精度 *3

    ±1% F.S.

    直線性 *3

    ±0.5% F.S.

    重復性 *3

    ±0.5% F.S.

    響應精度

    3秒以內 (T98)

    2秒以內 (T98)

    使用環境溫度 *4

    5?50℃ (15 ? 45℃精度的確保)

    溫度影響Span

    ±0.1%F.S./℃ 最大值±1%

    工作差壓值 *5

    0.05?0.3MPa

    耐壓

    1MPa

    壓力損失

    流量設定信號

    模擬:0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上) 數字式:RS485(F-Net通信協議)

    流量輸出信號

    模擬:0?5 VDC(最小負荷電阻2kΩ) 數字式:RS485(F-Net通信協議)

    驅動電源

    +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA

    外部泄漏規格

    PO 類型:1×10-8Pa•m3/s (He) MO 類型: 5×10-12Pa•m3/s (He)

    接液部材質

    PO 類型:SUS316L, Ni, PTFE, PFA MO 類型: SUS316L,Ni

    標準接頭

    1/16” , 1/8” SWL類型, 1/8” VCR 類型

    1/8” SWL類型, 1/8” VCR 類型

    1/4” SWL類型 1/4” VCR 類型

    *1: LF-F/LV-F系列質量流量控制器利用1種液體進行了流量校正 (請預先指定所使用 的液體。)
    ?不能檢測含有固體物的液體。
    ?如果混合液中混合比會發生變化時,請預先進行咨詢協商。
    ?LV-F系列質量流量控制器如果在對象液體中含有粒子等時,請在一次端(入口端) 安裝0.2μm(Abs.)以下的過濾器。
    *2: LF-F類型質量流量控制器根據流量量程,可以適用到 最大值, 0.1Pa•s。有關高粘度的液體請預先進行咨詢協商。
    *3: 以SEMI E56-1296 為準。
    *4: 進行測量?控制的液體溫度如果低于環境溫度時,使用時請把溫差控制在10℃以 內;如果高于液體溫度時,使用時請把溫差控制在3℃以內。
    *5:這是在粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。

     

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